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等离子发生器的具体电路

归档日期:08-08       文本归类:发射法      文章编辑:爱尚语录

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  展开全部射频电源+匹配器+真空腔室,这一套下来怎么说也要几万吧,自己做电路太费时了

  射频电源需要一个直流开关电源,一个射频功率发生器或者射频信号发生器和射频功率放大器

  关键的部分是射频功率放大器,可以在百度上搜乌龟 BA7KW,参考一下

  匹配器根据腔室而定,大致上是两个可调电容,一个电感。这些元件的耐压要在几十KV,电流要达到几十A。

  真空腔室需要精密加工,配合机械泵、分子泵抽成真空,充入稀薄惰性气体。射频信号通过平行板电容方式(CCP)或腔室外围的线圈(ICP)耦合至腔室,将里面的稀薄气体电离,从而产生等离子体。

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